機台預診斷之統計分析技術
- 2016-07-25 (Mon.), 10:30 AM
- 中研院-統計所 2F 交誼廳
- 茶 會:上午10:10統計所二樓交誼廳
- 黃 冠 華 教授
- 國立交通大學統計學研究所
Abstract
隨著科技的進步與製造系統邁向自動化,機台設備漸趨高功能與複雜化,並且價格高昂。如何使這些設備正常運作,發生故障時能夠快速排除,就成了生產管理的重要課題。為了達到這個目標,現代化機台設備往往配置許多感測裝置,隨時監控機台狀況,確保機台能夠長時間正常運作。本次演講,將以一組由生產LED晶片的MOCVD機台上所獲得之感測資料為例,與大家分享我們如何運用創新的統計方法,從這些機台的製造資料中,發展可以提升產能與產品品質的機台預診斷(Prognostics and Health Management, PHM)技術,包括:設備元件相依之製程參數擷取技術、異常製程判斷與老化現象探討、零件故障與剩餘壽命(Remaining Useful Life, RUL)之預測
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